可以高精度地控制從極低壓到高壓的加壓。
它是一種混合型高精度加壓控制裝置，具有前所未有的線性軸電機和氣動伺服。
特點
- 精確加壓控制，1 N（公差±0.045％）至200 N（公差±0.855％）（本演示系統）
- 最大壓力250 N可通過使用額定推力為17 N的直線軸電機與氣缸組合來控制。
- 分辨率為0.05μm的定位精度
- 根據軸馬達和氣缸的組合，可以控制不同區域的加壓。
- 由於可以取消垂直軸電動機的重量，因此可以使電動機小型化並且可以極大地抑制線圈發熱。
- 關於整合/單元化的提案
產品成分
軸電機：S250SS（軸徑：25 mm）
控制器：Panasonic MINAS A6L
編碼器：Renishaw Resolute絕對0.05μm/ Panasonic串行協議