非常低的壓力可實現高精度壓力控制。下部的機構使用小型DD電機以高分辨率對齊。
特點
- 精確的加壓控制，公差為0.05 N（5 g）（本演示裝置）
- 通過電流的加壓變化是線性的
- 定位精度高，分辨率為0.001至0.05μm
- 可以根據軸馬達的型號改變壓力。
- 使用DD電機（108,000 CPR）對下部機構進行高精度旋轉控制
產品成分
軸馬達：S3250SS（軸徑：25mm）
司機：松下MINAS A6L
編碼器：雷尼紹Resolute絕對值0.05μm
：松下串行協議
DD電機：MDS / MDH-3018-108KE