采用綫性磁軸馬達，實現了高精度，超低震動，超薄（30毫米）XY載物平臺。
特點
- 超薄載物平臺厚度30毫米
- 開放式框架結構
- XY移動量45/30mm行程
- 使用FMAX-4X-2D來進行操作桿操作
- 定位分辨率0.05微米
- 高速控制 最高速度200mm/sec（4 Mpps）
- 無與倫比的靜音
- 平鋪時的貼合也高精度
綫性磁軸馬達特性
- 高速運動
- 高精度定位（全閉環控制）
- 無與倫比的速度穩定性
- 高速整定 （高響應）
- 可簡單和 滾珠絲桿機構進行替
- 可在1個軸置放多個可動子來進行多軸驅動
- 可使用1個驅動器來實現多個同步的并行驅動
- 非接觸式馬達，耐用性更好（維護成本低）
- 防塵
- 在水，油，污染，粉塵等惡劣環境中也可使用