使用四軸電機的高精度控制校準台。可以使用X和Y軸線性運動和θ運動。
它由直徑為25 mm的軸電機組成（S250DS型號）。通過對每個軸使用0.001μm（1nm）的高分辨率線性標度，實現0.1um或更小的可重複性。 （X軸：±0.078μm，Y軸：±0.049μm）
它通過使用NPM的PCL6045BL（LSI）和Panasonic驅動器組合獨立控制板來控制。
特點
- 高速驅動（輕擊）
- 高精度定位操作（全閉環控制）
- 無與倫比的速度穩定性
- 快速安置（高響應）
- 由於形狀相似，易於更換滾珠絲槓機構
- 可以在單個軸上驅動多個推進器
- 具有單個驅動程序的同步並行驅動器
- 由於非接觸式結構（降低維護成本），具有出色的耐用性
- 低塵生成
- 可用於水，油，污染和灰塵等惡劣環境
- 安靜