軸馬達精密平台

特點

• 高精準度
• 使用低振動線性軸馬達
• 開放式框架結構
• XY行程±75 mm行程
• 定位分辨率：0.1μm
• 高速控制（最高速度：200 mm / s）
• 無與倫比的靜音
• 平舖時高度精確的粘合
• 小型控制器驅動程序FMAX-4X-2SD可用